- Plasma-Ätzen
- nплазменное травление
Deutsch-Russische Wörterbuch der Chemie. 2014.
Plasma-Ätzen
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Plasma-Ätzen — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… … Deutsch Wikipedia
Plasma-unterstütztes Ätzen — (physikalisch chemisches Ätzen) bezeichnet eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren in der Halbleitertechnologie. Als Trockenätzverfahren stellen sie alternative Strukturierungsverfahren zum sog. Nassätzen (nasschemischen … Deutsch Wikipedia
Ätzen — bezeichnet die Abtragung von Material in Form von Vertiefungen auf der Oberfläche organischer oder anorganischer Materialien durch Anwendung ätzender Stoffe. Inhaltsverzeichnis 1 Anwendungen 1.1 Industrielle Anwendung 1.2 Anwendungen in Kunst und … Deutsch Wikipedia
Plasma-Physik — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne … Deutsch Wikipedia
Plasma (Physik) — Plasma in einer Plasmalampe Magnetisch verformtes Plasma … Deutsch Wikipedia
RIE — Plasma unterstütztes Ätzen ( physikalisch chemisches Ätzen) bezeichnet eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren in der Halbleitertechnologie. Als Trockenätzverfahren stellen eine alternative Strukturierungverfahren zu dem … Deutsch Wikipedia
Reaktives Ionenätzen — Plasma unterstütztes Ätzen ( physikalisch chemisches Ätzen) bezeichnet eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren in der Halbleitertechnologie. Als Trockenätzverfahren stellen eine alternative Strukturierungverfahren zu dem … Deutsch Wikipedia
Plasmagas — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne … Deutsch Wikipedia
Plasmaphysik — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne … Deutsch Wikipedia
Plasmastrahl — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne … Deutsch Wikipedia
Plasmazustand — Plasma in einer Plasmalampe. Datei:Gerds plasma.jpg magnetisch verformtes Plasma Sonne … Deutsch Wikipedia
